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半導(dǎo)體制造業(yè)中有許多不同的真空泵。我們將其分為兩類：主泵和高級(jí)真空泵。主泵在腔體中產(chǎn)生粗糙的中間真空有多種用途。在集成的多腔設(shè)備中清空容納硅晶片的區(qū)域；為高級(jí)真空泵泵送空氣。先進(jìn)的真空泵用于獲得10-3 Torr到10-9 Torr 的壓力范圍以及超高真空。新晶圓廠使用的現(xiàn)代真空泵是干燥的，這意味著內(nèi)部沒有油或潤(rùn)滑劑會(huì)回流到處理室并污染硅晶圓。螺桿泵特點(diǎn)：1.轉(zhuǎn)子輪廓嚙合均勻，密封性好，抽氣效率高。2.最終真空度高，最大壓力可達(dá)到0.2 Pa。3.進(jìn)口螺桿轉(zhuǎn)子專用加工中心一批，加工精度高，產(chǎn)品性能穩(wěn)定。4.螺桿泵的所有轉(zhuǎn)子都經(jīng)過了G1動(dòng)態(tài)平衡測(cè)試，并且在運(yùn)行過程中泵的振動(dòng)很小。5.泵標(biāo)配了定制的電動(dòng)機(jī)，并且在泵的油腔和電動(dòng)機(jī)之間形成封閉結(jié)構(gòu)，從而消除了電動(dòng)機(jī)端部的動(dòng)態(tài)軸伸密封，并消除了機(jī)油泄漏引擎末端出現(xiàn)問題。6.泵標(biāo)配特殊的可拆洗消音器，具有良好的降噪效果和低噪音，同時(shí)易于拆卸，清洗和維護(hù)。7.螺桿泵結(jié)構(gòu)合理，可以適應(yīng)多種保養(yǎng)和維護(hù)措施，針對(duì)各種對(duì)泵有害的情況具有相應(yīng)的處理方法，可以配備相應(yīng)的結(jié)構(gòu)或附件，具有很大的相關(guān)性。維護(hù)效果好，操作簡(jiǎn)單，處理時(shí)間短，可以更好地保證設(shè)備的正常運(yùn)行。
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干式真空泵和水環(huán)真空泵是當(dāng)今廣泛使用的兩類真空設(shè)備。雖然經(jīng)常使用，但很多用戶并不了解具體的區(qū)別。兩種類型的設(shè)備比較進(jìn)行介紹?！ ?、真空穩(wěn)定性性能對(duì)比： 隨著水環(huán)真空泵運(yùn)行時(shí)間的增加，閉路冷卻循環(huán)水中有機(jī)溶劑的含量逐漸增加，使得閉路冷卻循環(huán)水的表面蒸氣壓增加(即更容易在相同條件下?lián)]發(fā))，從而導(dǎo)致真空裝置的上限真空溫度和抽氣速度降低，從而延長(zhǎng)干燥時(shí)間和產(chǎn)品質(zhì)量。 干爪式真空泵不存在上述問題，因?yàn)闊o水無油?！ ?、真空度對(duì)比： 爪形真空泵的上限真空壓力高于5Pa，而水環(huán)泵的上限真空壓力高于2000Pa。因此，在一些工業(yè)條件和礦山，爪形真空可以單獨(dú)使用更換羅茨水環(huán)或常用的羅茨水射流。 3、設(shè)備耐腐蝕性能對(duì)比： 當(dāng)系統(tǒng)中有酸性氣體時(shí)，由于水環(huán)真空泵中存在水，酸性氣體溶解在水中形成酸性液體。酸性液體由水環(huán)泵葉輪驅(qū)動(dòng)，對(duì)泵有強(qiáng)烈的沖刷腐蝕。 干爪式真空泵內(nèi)無水，酸性氣體不能形成酸性液體，設(shè)備無腐蝕?！ ?、故障停機(jī)和停電對(duì)產(chǎn)品和系統(tǒng)的影響對(duì)比： 水環(huán)真空泵在運(yùn)行中出現(xiàn)故障停機(jī)后，水環(huán)泵內(nèi)的水會(huì)在大氣壓下流回系統(tǒng)，造成產(chǎn)品污染和羅茨泵損壞?！ 「勺Ρ脙?nèi)無水，不會(huì)發(fā)生上述事故?！ ?、節(jié)能降耗效果對(duì)比： 水環(huán)真空泵依靠葉輪在水離心機(jī)中做功，形成吸力，打氣腔，從而達(dá)到抽氣效果。因此，水環(huán)真空泵的主要能耗是葉輪在離心水時(shí)的能耗，在工作過程中能耗發(fā)生變化。 當(dāng)爪形真空泵接近真空上限時(shí)，...
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干式真空泵是一類使用范圍很廣的設(shè)備，所以和其他真空設(shè)備一樣，必須有相應(yīng)的防氣蝕保護(hù)措施，以免對(duì)空的使用產(chǎn)生一定的影響.泵，但有多個(gè)用戶在氣蝕中我不了解保護(hù)，所以我將介紹相關(guān)內(nèi)容?！ 】栈且环N客觀現(xiàn)象。干式真空泵工作時(shí)，當(dāng)真空度達(dá)到-0.093MPa以上時(shí)，真空泵腔內(nèi)的水很容易達(dá)到飽和蒸氣壓，此時(shí)會(huì)產(chǎn)生很多氣泡。由于排氣末端的壓力增加，這些氣泡會(huì)迅速爆炸。這時(shí)，原來氣泡周圍的水會(huì)迅速填滿原來氣泡的空間，對(duì)吸塵器的葉輪和盤片造成很大的沖擊。抽的同時(shí)，還會(huì)伴隨著咯吱咯吱的聲音。氣蝕剛剛開始損壞干式真空泵葉輪和圓盤。主要是由于葉輪的點(diǎn)狀損壞，破壞了金屬表面的保護(hù)層。隨著空化時(shí)間的增加，會(huì)出現(xiàn)蜂窩狀凹坑。在葉輪表面形成的深度會(huì)慢慢增加，直到葉輪葉片因氣蝕和液體阻力而破裂。汽蝕是干式真空泵的主要威脅在實(shí)際應(yīng)用中，許多真空泵因汽蝕而退化或損壞。 以上是干式真空泵汽蝕保護(hù)的相關(guān)保護(hù)措施。根據(jù)以上操作，可以大大減少設(shè)備的氣穴現(xiàn)象，從而有效提高設(shè)備的效率和使用壽命。
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干式真空泵的使用越來越多，其質(zhì)量也在不斷提高。被大家廣泛使用。但是其優(yōu)缺點(diǎn)也是非常明顯。為了大家更好的使用，我們一起來了解一下真空泵跳閘有哪些問題? 干式真空泵在使用時(shí)跳閘對(duì)設(shè)備的損害很大，零部件也會(huì)有一定程度的磨損。如果發(fā)生跳閘，應(yīng)查找原因并進(jìn)行修理，以免設(shè)備再次損壞。干式真空泵的排氣口吸入異物或雜質(zhì)，發(fā)動(dòng)機(jī)加載?？刹痖_真空泵檢查內(nèi)部是否有故障。如果螺桿真空泵長(zhǎng)期不使用，電機(jī)會(huì)充電，電流會(huì)暫時(shí)過高。這時(shí)可以關(guān)閉真空泵的進(jìn)氣口，加熱泵體。 干式真空泵的電機(jī)接兩相電源。如果未啟用三相電源，真空泵可以連接到三相電源。如果跳閘或運(yùn)行約十小時(shí)后跳閘，可以調(diào)整過電流的上限。真空泵在使用時(shí)，真空泵電機(jī)加載。此時(shí)，電流過高。如果超過電控箱設(shè)定的電流，真空泵自行跳閘是正常的?？烧{(diào)整電流保護(hù)上限，解決跳閘問題?！ ∫陨仙婕皢?dòng)干式真空泵。為保證其性能的穩(wěn)定性，必須在使用時(shí)按照要求進(jìn)行操作。您可以根據(jù)實(shí)際需要選擇合適的解決方案。如果您需要，可以聯(lián)系我們，我們是專業(yè)的廠家，我們會(huì)給您合理的建議，避免盲目操作造成的損失。
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油旋片式真空泵便于安裝，振動(dòng)小，磨損小、噪音低等優(yōu)勢(shì)，但在運(yùn)行過程中出現(xiàn)故障的情況也是有的，來看看旋片真空泵的常見故障有哪些。旋片真空泵常見故障的幾種問題：1.泵不旋轉(zhuǎn)。如果情況不清楚，不能先啟動(dòng)泵，以免加重故障。它可以分為手動(dòng)和非手動(dòng)。2.泵的溫度太高。指在低位排氣閥附近測(cè)得的最高油溫超過操作指令值。隨著泵溫的升高，泵油的粘度將大大降低，泵油的飽和蒸汽壓將增加，這將增加泵的極限壓力，降低泵送效率。橡膠部件容易老化。熱膨脹減小了操作間隙，特別是一些非金屬旋轉(zhuǎn)板的厚度方向和銅套內(nèi)孔的間隙，影響了泵運(yùn)行的可靠性。泵溫度高的原因可能是泵溫度過高、進(jìn)氣溫度過高、進(jìn)氣冷卻裝置失效以及泵長(zhǎng)期連續(xù)運(yùn)行的入口壓力過高。水冷泵冷卻水量不足，循環(huán)水設(shè)計(jì)效果不好。溫控水量調(diào)節(jié)閥等故障。3.漏油?？赡馨l(fā)生在軸封、油箱和泵部件的密封面、放油塞、油痕、油孔塞、定子部件和支架之間的通孔連接、氣鎮(zhèn)閥等處。它可能是由密封件老化、安裝不當(dāng)、損壞和失效、表面不平、雜質(zhì)、粗糙和鑄件松動(dòng)引起的。如果停泵后機(jī)油回流，油會(huì)進(jìn)入氣鎮(zhèn)閥和氣鎮(zhèn)閥可能會(huì)漏油。制造橡膠墊時(shí)，必須使用耐油橡膠。它應(yīng)該是原來的設(shè)計(jì)形狀。如果密封面太大，如果壓力不緊，就會(huì)漏油。4.高功率超過標(biāo)準(zhǔn)?？赡苁怯捎谌肟趬毫^高、排氣壓力過高、異物堵塞進(jìn)入、泵溫度過高、配合間隙過小(如旋轉(zhuǎn)葉片)、電壓過高、太多泵液回流到泵內(nèi)等原因造成的。這會(huì)損壞電機(jī)。應(yīng)盡可能避免在最...
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電子線路板真空壓合技術(shù)核心技術(shù)在于，均勻分布在整個(gè)工件表面上高溫度、高壓力，以及溫度、壓力控制精度，保溫、隔熱效果；真空泵作為層壓機(jī)關(guān)鍵組成之一，真空壓合技術(shù)對(duì)真空泵質(zhì)量及真空度等參數(shù)要求較高。電子線路板層壓機(jī)真空壓合選擇哪種真空機(jī)組呢？根據(jù)不同的真空度，選擇相應(yīng)的真空泵或真空機(jī)組；真空在線路板層壓應(yīng)用，真空泵起到作用是抽除氣泡，抽速越快則需越高真空度，壓合效果越好。層壓為粗真空應(yīng)用，根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需求，可以選用羅茨真空泵+水環(huán)真空泵組成的羅茨水環(huán)真空機(jī)組，可省略不少配件；羅茨水環(huán)真空機(jī)組應(yīng)用于線路板PCB板真空層壓的優(yōu)勢(shì)如下。1、羅茨水環(huán)真空機(jī)組，組成簡(jiǎn)單配件少，安裝簡(jiǎn)便；2、羅茨真空泵抽速大、效率高，在100～1帕壓力范圍內(nèi)有較大抽氣速率，能迅速排除突然放出的氣體；3、羅茨真空泵對(duì)被抽氣體中所含的少量水蒸汽和灰塵不敏感；4、SPECK水環(huán)真空泵葉輪上偏心安裝，與泵腔無接觸無磨損，減少阻力更節(jié)能；5、真空泵維修周期長(zhǎng)5年以上，無需專人維護(hù)深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司專注于真空泵領(lǐng)域，擁有技術(shù)團(tuán)隊(duì)研發(fā)生產(chǎn)真空泵系列產(chǎn)品，包括有水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵、螺桿真空泵、真空機(jī)組配套裝置及真空解決方案等，這些真空泵在食品、制藥、醫(yī)療、化工、家居、電子電池、水環(huán)境等行業(yè)均有應(yīng)用，恒才機(jī)電是深圳集成監(jiān)控系統(tǒng)公司行業(yè)的之一。
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真空泵設(shè)備使用一段時(shí)間后，均需要保養(yǎng)，如真空泵換油、真空泵易損件更換等，不同真空泵類型保養(yǎng)方式不同，現(xiàn)在講講干式真空泵維護(hù)步驟有哪些，干式真空泵如何保養(yǎng)？干式真空泵維護(hù)保養(yǎng)步驟如下內(nèi)容：1.小維護(hù)項(xiàng)目(a)檢查軸封泄漏，調(diào)整蓋與軸的間隙，更換密封墊或修理機(jī)械密封墊。(b)檢查軸承。(c)檢查各部分的螺栓緊固。(d)消除冷卻水、油封、潤(rùn)滑系統(tǒng)運(yùn)轉(zhuǎn)過程中發(fā)生的跑步、刮風(fēng)、掉落、泄漏等問題。(e)檢查聯(lián)軸器和定心。2.大維護(hù)項(xiàng)目(a)包括小修理項(xiàng)目的內(nèi)容。(b)拆解并檢查各部件的磨損狀況，測(cè)量并調(diào)整各部件的配合間隙。(c)檢查齒輪磨損，調(diào)整同步齒輪的間隙。(d)檢查螺桿的直線度及磨損情況。(e)檢查泵內(nèi)表面的磨損。(f)檢查壓力表、安全閥。干式真空泵無需工作液，無油無水干式泵，在保養(yǎng)過程中省去了更換真空泵、循環(huán)水等步驟，相比于其他類型真空泵，干式真空泵維護(hù)更簡(jiǎn)單省時(shí)，只需做好日常保養(yǎng)即可。深圳恒才機(jī)電設(shè)備有限公司專注于真空泵領(lǐng)域，是深圳真空泵生產(chǎn)廠家之一，主要產(chǎn)品有水環(huán)真空泵、羅茨真空泵、旋片真空泵、螺桿真空泵、真空系統(tǒng)、真空機(jī)組等產(chǎn)品，廣泛應(yīng)用于食品、制藥、醫(yī)療、化工、家居、電子電池、水環(huán)境等行業(yè)，恒才提供真空解決方案、真空泵設(shè)備及保養(yǎng)售后安裝等服務(wù)，恒才機(jī)電是深圳集成監(jiān)控系統(tǒng)公司行業(yè)的之一。
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