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2020
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1.半導(dǎo)體離子束刻蝕機(jī)的組成 離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺、快門、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和 電器系統(tǒng)等主要部分組成。該機(jī)在正常工作時,首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持 在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合), 然后啟動離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。工件表面必須預(yù)先制備溝槽的掩膜圖形。這樣裸露部分被刻蝕掉,掩蔽部分被保留下來,從而在工件表面形成所需要的溝槽圖形?！ ?.真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng)有兩套，分別用于預(yù)真空室和刻蝕腔體。預(yù)真空室由機(jī)械泵單獨(dú)抽真空，只有在預(yù)真空室真空度達(dá)到設(shè)定值時，才能打開隔離門，進(jìn)行傳送片。刻蝕腔體的真空由機(jī)械泵和分子泵共同提供，刻蝕腔體反應(yīng)生成的氣體也由真空系統(tǒng)排空?！ ‰x子刻蝕機(jī)真空泵-阿特拉斯真空泵 型號：單級旋片泵GVS系列， 技術(shù)參數(shù)： 主要特點(diǎn): 1.半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng). 2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統(tǒng). 3.排氣控制.污水處理系統(tǒng),氣體處理系統(tǒng). 4.油封旋片泵.產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：PCB板業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)，CCL行業(yè)，SMT行業(yè)，光電機(jī)械，化工行業(yè)等。
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22
真空泵對真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時間以及整個設(shè)備的處理效果有著重要的影響，因此選擇合適的真空泵對真空等離子清洗機(jī)的質(zhì)量至關(guān)重要。真空等離子清洗機(jī)中常用的真空泵有兩種，即油式真空泵和干真空泵。今天，我們將介紹等離子清洗機(jī)用真空泵的類型和特點(diǎn)，以及選擇真空泵時的注意事項(xiàng)?！ ∮褪秸婵毡谩 ∮褪秸婵毡檬怯糜兔芊?、潤滑和冷卻的真空泵的總稱。真空等離子清洗機(jī)中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵?！ ⌒婵毡谩 ⌒婵毡檬且环N油封式機(jī)械真空泵，其主要部件包括泵體、轉(zhuǎn)子，旋片、端蓋、彈簧等。旋片真空泵有兩種類型：單級和雙級。雙級旋葉真空泵是等離子清洗機(jī)中常用的設(shè)備。所謂的雙級旋片真空泵在結(jié)構(gòu)上串聯(lián)兩個單級泵?！ ⌒婵毡玫谋们粌?nèi)偏心安裝有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切。同時，兩個帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時，旋片的頂端通過離心力和彈簧力與泵腔內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動。旋片真空泵使用兩個旋片將泵腔分成三部分。由于轉(zhuǎn)子是偏心安裝的，三個部分的空間會隨著轉(zhuǎn)子，的旋轉(zhuǎn)而變化，壓差被用來達(dá)到抽氣的目的?！ ⌒婵毡弥饕糜谛∏惑w(80L以下)或真空等離子清洗機(jī)中真空泵機(jī)組的前級泵?！ ⌒婵毡镁哂幸韵聝?yōu)點(diǎn)： 一、旋片真空泵在抽出空腔內(nèi)的干燥氣體的同時，可以抽出一定量的可冷凝氣體和氣水混合物; 二、結(jié)構(gòu)相對簡單，維護(hù)方便; 三、是體積小，重量輕，...
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真空泵是通過機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法排氣獲得真空的容器裝置或設(shè)備?！ ≌婵毡玫膬r格從數(shù)千到數(shù)萬、數(shù)十萬不等?！ 〗?jīng)濟(jì)的真空泵設(shè)備偶爾可以使用幾次，但真空度不高，壽命短?！ ?shí)用新型真空泵設(shè)備，其商/用均為中速。 根據(jù)不同的真空泵，真空泵設(shè)備可分為單室、雙室、軋制式、拉出式、振動式等，產(chǎn)品多樣化，可應(yīng)用一類工廠，真空度高，穩(wěn)定持久?！ ≈貦C(jī)種的真空泵設(shè)備，是大型工廠使用的全自動無人生產(chǎn)線真空泵的針織面料，需要客制化。 不同產(chǎn)品的不同組合，投入成本高，穩(wěn)定性中等，產(chǎn)量大?！ ≌婵毡脩?yīng)用例：真空包裝機(jī) 將產(chǎn)品裝入包裝容器后，為了保持產(chǎn)品的密封，保持產(chǎn)品品質(zhì)，避免產(chǎn)品的損失，必須密封包裝容器。 是指容器裝滿產(chǎn)品后密封的機(jī)器。 包裝容器由于紙、塑料、玻璃、陶瓷、金屬、復(fù)合材料、包裝容器的形狀和物性不同，所以使用的密封形式和裝置也不同?！ ∫话銇碚f，包裝材料的力學(xué)性能可以分為以下2種?！ ?1)柔性容器的封口裝置。 撓性容器是由紙、塑料薄膜、復(fù)合膜等撓性材料構(gòu)成的袋裝容器。 這個容器的密封裝置是制袋和填充組合的機(jī)器，不太使用，根據(jù)材料的不同密封裝置也不同?！ 〖埓饪谘b置。 對于紙材料，多在封口處使用刷子橡膠，然后機(jī)械加壓封口?！ ∷芰媳∧ご蛷?fù)合膜袋的密封裝置。 許多塑料具有良好的熱封性能。 這種塑料制的塑料包裝袋和復(fù)合袋，通常在密封處直接加熱，施加機(jī)械壓力使其熔化密封?！ ?2)剛...
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08
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03
如果旋片真空泵運(yùn)行期間噪音很大，泵中的備件可能會出現(xiàn)故障?！ ⌒婵毡玫脑胍艨赡苁怯蛇@些原因引起的 1、彈簧斷裂，影響轉(zhuǎn)子運(yùn)行?！ ?、裝配不當(dāng)，轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)有摩擦聲?！ ?.旋片和旋片真空泵腔之間的撞擊聲在被強(qiáng)制擠壓經(jīng)過端面的某個地方之后。 4.零件上的毛刺、異物落入旋片真空泵腔內(nèi)或旋片真空泵腔變形造成運(yùn)行障礙而產(chǎn)生噪音。 5.旋片真空泵腔內(nèi)潤滑不良引起的干磨噪音;有害空間過大，以及旋片真空泵本身產(chǎn)生的噪音?！ ?.軸承缺油引起的干磨噪音。所有這些都會使旋片真空泵產(chǎn)生有時無法忍受的噪音?！ ♂槍ι鲜鰡栴}，應(yīng)采取相應(yīng)措施予以消除，處理方法如下： 由于裝配不當(dāng)，端蓋板的平面與腔體的軸向不垂直。打開端蓋后，可以看到半個圓弧被磨在端蓋上，這說明旋片在經(jīng)過這部分時受擠壓嚴(yán)重，不能正常與旋片真空泵腔接觸。當(dāng)旋片被強(qiáng)力推動通過該部分時，它突然跳出并與旋片真空泵腔碰撞，產(chǎn)生周期性的撞擊聲?！ 榱私鉀Q這一問題，可以對腔體的端面進(jìn)行修正，使其垂直于腔體的軸向，可以磨掉端蓋板上的劃痕，然后可以調(diào)整旋片真空泵的腔體、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間的配合間隙，并可以調(diào)整旋片彈簧的伸縮性能來消除這一故障。旋片真空泵制造過程中產(chǎn)生的固有噪聲是不可避免的。一些大師挖出一些釋氣的孔口，也就是說，稍微擴(kuò)大孔，以減少噪音;一些大師將中間隔膜旋片真空泵的中間隔膜偏移幾毫米，以減少有害空間，從而降低噪音?！ 】傊?，只要發(fā)現(xiàn)故障，...
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08
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在安裝和啟動螺桿真空泵之前，需要做一些準(zhǔn)備工作以確保安全運(yùn)行。這一次，螺桿真空泵將討論在螺桿真空泵啟動之前準(zhǔn)備。 啟動螺桿真空泵前要做的第一件事是清理雜物。應(yīng)先清除真空泵內(nèi)的灰塵，再清除管道內(nèi)的灰塵和雜物，尤其是焊渣，以確保徹底清潔，防止進(jìn)入泵被堵塞和卡住。 檢查進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口是否緊固，所有管道安裝是否正確，冷卻水管道是否正常?！ 〈_保齒輪箱潤滑油處于標(biāo)準(zhǔn)油位。螺桿真空泵齒輪箱油量過少，容易導(dǎo)致齒輪和軸承潤滑不充分和卡澀;過多的潤滑油很容易導(dǎo)致溫度過高，導(dǎo)致齒輪噪音或影響其他部件。因此，有必要將油位長時間保持在合理的范圍內(nèi)?！ ∽⒁饫鋮s水是否按要求配置。螺桿真空泵通過水冷套對泵體進(jìn)行冷卻，每種型號的冷卻水量不同。在實(shí)際啟動前，必須根據(jù)相應(yīng)的型號要求和環(huán)境條件，確保冷卻水的量是否滿足配置要求?！ 『悴艡C(jī)電廠家主要真空泵產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列羅茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺桿真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系統(tǒng)等產(chǎn)品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck產(chǎn)品.真空泵廠家恒才機(jī)電憑借多年的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，一流的技術(shù)人員，完善的售后渠道使得產(chǎn)品質(zhì)量多年來保持穩(wěn)定可靠。恒才機(jī)電廠家期待與各位同仁合作，更多真空泵知識請繼續(xù)關(guān)注我們恒才機(jī)電設(shè)備有限公司。聯(lián)系電話400-862553...
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旋片真空泵的葉片廣泛應(yīng)用于旋片真空泵的轉(zhuǎn)子槽中。真空泵的轉(zhuǎn)子和葉片密封在真空泵的缸體中。使用真空泵油作為潤滑介質(zhì)，可以增加真空泵葉片與缸體的接觸面積，從而達(dá)到理想狀態(tài)下的最終真空。如果真空泵的葉片太短太薄，將會導(dǎo)致真空度不夠，甚至?xí)?dǎo)致真空泵的嚴(yán)重故障。 根據(jù)旋片真空泵的工作原理，真空泵的葉片分為兩種類型：雙級泵(也稱雙極性旋片真空泵)葉片和單級旋片真空泵葉片。不同型號和品牌的真空泵葉片有不同的尺寸和材料，旋轉(zhuǎn)葉片真空泵一般用于腐蝕性條件。 真空泵葉片材料抗彎強(qiáng)度高，在啟動油擾動和高入口壓力下運(yùn)行時不易變形和斷裂;密度比鐵小，所以離心力小，氣缸壁磨損小，不會直接與金屬咬合;能承受高溫;長度方向的熱膨脹系數(shù)很小，相當(dāng)于鑄鐵，因此在設(shè)計(jì)中可以將該方向的公差視為鑄鐵。厚度方向熱膨脹系數(shù)大，硬度高，油潤滑摩擦系數(shù)小，在油潤滑充分的前提下耐磨耐用。當(dāng)轉(zhuǎn)子不在泵體內(nèi)運(yùn)行時，會發(fā)生摩擦，如果沒有真空泵油潤滑，很容易導(dǎo)致真空泵葉片的磨損、斷裂和膨脹。結(jié)果，真空度不夠，真空不能上升。 原因1:泵油不足或真空油不干凈。 排除方法：增加油量或更換油。 原因2:泵油品牌不匹配?！ ∨懦椒ǎ焊鼡Q指定品牌的真空泵油?！ ≡?:泵的進(jìn)油口堵塞或供油不足?！ ∨懦椒ǎ呵逑催M(jìn)油孔或調(diào)整油量?！ ≡?:泵速不夠?！ ∨懦椒ǎ簷z查電機(jī)電源電壓或電機(jī)本身是否有故障?！ ≡?:排氣閥板損壞。 消除方...
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螺桿真空泵不僅可以抽空，還可以過濾氣體，對含粉塵的氣體可以過濾，過濾氣體需要濾芯，所以時間一長就要更換濾芯。 除頻繁更換外，還要注意濾芯的質(zhì)量。 只有濾芯的質(zhì)量好，才能過濾氣體。 如何判斷螺桿真空泵濾芯的質(zhì)量? 一、看濾芯的芯骨厚度 通常，優(yōu)質(zhì)的螺桿真空泵濾芯的內(nèi)外骨架厚度均在0.8mm-1.5mm之間，但有些廠家為了降低層本，將骨架降低到0.3mm-0.5mm，雖然外觀沒有差異，但嚴(yán)重影響濾芯的抗壓能力。 二、看濾芯的材質(zhì) 螺桿真空泵空氣過濾器的主要過濾材質(zhì)為濾紙，假裝過濾器所采用的劣質(zhì)濾紙，使得除塵進(jìn)入發(fā)動機(jī)無法停止，影響發(fā)動機(jī)的正常工作。 通常，優(yōu)良的真空泵濾芯的濾紙顏色是統(tǒng)一的，紙面比較平坦，不良的過濾器顏色是不統(tǒng)一的，紙面生毛，質(zhì)量差。 三、看濾芯的膠質(zhì) 目前螺桿真空泵過濾器的結(jié)構(gòu)通常由濾紙和橡膠組成。 正品濾芯的橡膠質(zhì)量好有彈性，不過，假濾芯的橡膠質(zhì)量柔軟壞。 比較容易識別方法是將空氣過濾器對折，放松后立即打開優(yōu)質(zhì)過濾器，假冒真空泵過濾器因橡膠質(zhì)問題不與濾紙粘接，中央對折的痕跡很明顯?！ V芯經(jīng)常更換，更換的話就更換。 螺桿真空泵的部件質(zhì)量可以根據(jù)上述內(nèi)容進(jìn)行判斷。 如果買的要素不滿足上述條件的話，請不要更換。 不良濾芯會影響真空泵對氣體的過濾。
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