2019
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市場上真空泵那么多,選擇時需要注意什么?下面我們就來告訴大家這些注意點. 1.真空泵的工作壓力應滿足真空設(shè)備的極限真空和工作壓力要求。 例如,真空鍍膜要求的真空度為1 × 10-5mmHg,所選真空泵的真空度必須至少為5 × 10-6mmHg。通常將泵的真空選擇為比真空設(shè)備的真空高一半數(shù)量級?! ?.正確選擇真空泵的工作點?! ∶總€泵都有一定的工作壓力范圍,例如:擴散泵為10-3?10-7mmHg。在如此寬的壓力范圍內(nèi),泵的抽速隨壓力而變化,其穩(wěn)定的工作壓力范圍為5 × 10-4?5 × 10-6mmHg。因此,泵的工作點應在此范圍內(nèi)選擇,并且不應在10-8mmHg的環(huán)境下長時間工作。另一個例子是鈦熱升華泵可以在10-2mmHg的壓力下工作,但其工作壓力應小于10-20mm 10-5mmHg?! ?.真空泵應該能夠在真空設(shè)備的工作壓力下清除真空設(shè)備過程中產(chǎn)生的所有氣體?! ?.正確組合真空泵?! ∮捎谡婵毡镁哂羞x擇性泵送功能,因此有時一個泵無法滿足泵送要求,因此需要組合多個泵以相互補充才能滿足泵送要求。例如,鈦升華泵對氫的抽吸速度很高,但是不能被抽吸,而三極濺射離子泵(或兩極非對稱陰極濺射離子泵)對于氬氣則具有一定的抽吸速度。當結(jié)合使用時,真空裝置將具有更好的真空度。另外,有些真空泵不能在大氣壓下工作...