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2020
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07
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1.半導(dǎo)體離子束刻蝕機(jī)的組成 離子束刻蝕機(jī)由真空室、工作臺(tái)、快門(mén)、真空抽氣系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、電源和 電器系統(tǒng)等主要部分組成。該機(jī)在正常工作時(shí),首先將真空室的壓力抽至2×10-3Pa或更低,再調(diào)節(jié)Ar氣流量,使真空室壓力保持 在1×10-2~2×10-2Pa(如需要輔助氣體,如O2、CH2等,則可按一定比例與之混合), 然后啟動(dòng)離子源各電源,使離子源正常工作,從離子源引出一定能量和密度的離子束被中和器發(fā)射的電子中和后,轟擊工件進(jìn)行濺射刻蝕。工件表面必須預(yù)先制備溝槽的掩膜圖形。這樣裸露部分被刻蝕掉,掩蔽部分被保留下來(lái),從而在工件表面形成所需要的溝槽圖形?！ ?.真空系統(tǒng) 真空系統(tǒng)有兩套，分別用于預(yù)真空室和刻蝕腔體。預(yù)真空室由機(jī)械泵單獨(dú)抽真空，只有在預(yù)真空室真空度達(dá)到設(shè)定值時(shí)，才能打開(kāi)隔離門(mén)，進(jìn)行傳送片?？涛g腔體的真空由機(jī)械泵和分子泵共同提供，刻蝕腔體反應(yīng)生成的氣體也由真空系統(tǒng)排空?！ ‰x子刻蝕機(jī)真空泵-阿特拉斯真空泵 型號(hào)：?jiǎn)渭?jí)旋片泵GVS系列， 技術(shù)參數(shù)： 主要特點(diǎn): 1.半導(dǎo)體工業(yè)用真空泵和系統(tǒng). 2.科研儀器,真空加工用途真空泵和系統(tǒng). 3.排氣控制.污水處理系統(tǒng),氣體處理系統(tǒng). 4.油封旋片泵.產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域：PCB板業(yè)，半導(dǎo)體行業(yè)，CCL行業(yè)，SMT行業(yè)，光電機(jī)械，化工行業(yè)等。
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真空泵對(duì)真空等離子清洗機(jī)的真空度、抽真空時(shí)間以及整個(gè)設(shè)備的處理效果有著重要的影響，因此選擇合適的真空泵對(duì)真空等離子清洗機(jī)的質(zhì)量至關(guān)重要。真空等離子清洗機(jī)中常用的真空泵有兩種，即油式真空泵和干真空泵。今天，我們將介紹等離子清洗機(jī)用真空泵的類型和特點(diǎn)，以及選擇真空泵時(shí)的注意事項(xiàng)?！ ∮褪秸婵毡谩 ∮褪秸婵毡檬怯糜兔芊狻?rùn)滑和冷卻的真空泵的總稱。真空等離子清洗機(jī)中最常用的油式真空泵之一是旋片真空泵?！ ⌒婵毡谩 ⌒婵毡檬且环N油封式機(jī)械真空泵，其主要部件包括泵體、轉(zhuǎn)子，旋片、端蓋、彈簧等。旋片真空泵有兩種類型：?jiǎn)渭?jí)和雙級(jí)。雙級(jí)旋葉真空泵是等離子清洗機(jī)中常用的設(shè)備。所謂的雙級(jí)旋片真空泵在結(jié)構(gòu)上串聯(lián)兩個(gè)單級(jí)泵?！ ⌒婵毡玫谋们粌?nèi)偏心安裝有轉(zhuǎn)子，轉(zhuǎn)子的外圓與泵腔的內(nèi)表面相切。同時(shí)，兩個(gè)帶彈簧的旋片安裝在轉(zhuǎn)子槽中。當(dāng)轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)時(shí)，旋片的頂端通過(guò)離心力和彈簧力與泵腔內(nèi)壁保持接觸，轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)旋片沿泵腔內(nèi)壁滑動(dòng)。旋片真空泵使用兩個(gè)旋片將泵腔分成三部分。由于轉(zhuǎn)子是偏心安裝的，三個(gè)部分的空間會(huì)隨著轉(zhuǎn)子，的旋轉(zhuǎn)而變化，壓差被用來(lái)達(dá)到抽氣的目的?！ ⌒婵毡弥饕糜谛∏惑w(80L以下)或真空等離子清洗機(jī)中真空泵機(jī)組的前級(jí)泵?！ ⌒婵毡镁哂幸韵聝?yōu)點(diǎn)： 一、旋片真空泵在抽出空腔內(nèi)的干燥氣體的同時(shí)，可以抽出一定量的可冷凝氣體和氣水混合物; 二、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便; 三、是體積小，重量輕，...
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真空泵是通過(guò)機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)方法排氣獲得真空的容器裝置或設(shè)備?！ ≌婵毡玫膬r(jià)格從數(shù)千到數(shù)萬(wàn)、數(shù)十萬(wàn)不等?！ 〗?jīng)濟(jì)的真空泵設(shè)備偶爾可以使用幾次，但真空度不高，壽命短?！ ?shí)用新型真空泵設(shè)備，其商/用均為中速。 根據(jù)不同的真空泵，真空泵設(shè)備可分為單室、雙室、軋制式、拉出式、振動(dòng)式等，產(chǎn)品多樣化，可應(yīng)用一類工廠，真空度高，穩(wěn)定持久?！ ≈貦C(jī)種的真空泵設(shè)備，是大型工廠使用的全自動(dòng)無(wú)人生產(chǎn)線真空泵的針織面料，需要客制化。 不同產(chǎn)品的不同組合，投入成本高，穩(wěn)定性中等，產(chǎn)量大?！ ≌婵毡脩?yīng)用例：真空包裝機(jī) 將產(chǎn)品裝入包裝容器后，為了保持產(chǎn)品的密封，保持產(chǎn)品品質(zhì)，避免產(chǎn)品的損失，必須密封包裝容器。 是指容器裝滿產(chǎn)品后密封的機(jī)器。 包裝容器由于紙、塑料、玻璃、陶瓷、金屬、復(fù)合材料、包裝容器的形狀和物性不同，所以使用的密封形式和裝置也不同?！ ∫话銇?lái)說(shuō)，包裝材料的力學(xué)性能可以分為以下2種?！ ?1)柔性容器的封口裝置。 撓性容器是由紙、塑料薄膜、復(fù)合膜等撓性材料構(gòu)成的袋裝容器。 這個(gè)容器的密封裝置是制袋和填充組合的機(jī)器，不太使用，根據(jù)材料的不同密封裝置也不同?！ 〖埓饪谘b置。 對(duì)于紙材料，多在封口處使用刷子橡膠，然后機(jī)械加壓封口?！ ∷芰媳∧ご蛷?fù)合膜袋的密封裝置。 許多塑料具有良好的熱封性能。 這種塑料制的塑料包裝袋和復(fù)合袋，通常在密封處直接加熱，施加機(jī)械壓力使其熔化密封?！ ?2)剛...
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08
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03
如果旋片真空泵運(yùn)行期間噪音很大，泵中的備件可能會(huì)出現(xiàn)故障。 旋片真空泵的噪音可能是由這些原因引起的 1、彈簧斷裂，影響轉(zhuǎn)子運(yùn)行?！ ?、裝配不當(dāng)，轉(zhuǎn)子運(yùn)轉(zhuǎn)有摩擦聲?！ ?.旋片和旋片真空泵腔之間的撞擊聲在被強(qiáng)制擠壓經(jīng)過(guò)端面的某個(gè)地方之后?！ ?.零件上的毛刺、異物落入旋片真空泵腔內(nèi)或旋片真空泵腔變形造成運(yùn)行障礙而產(chǎn)生噪音?！ ?.旋片真空泵腔內(nèi)潤(rùn)滑不良引起的干磨噪音;有害空間過(guò)大，以及旋片真空泵本身產(chǎn)生的噪音?！ ?.軸承缺油引起的干磨噪音。所有這些都會(huì)使旋片真空泵產(chǎn)生有時(shí)無(wú)法忍受的噪音。 針對(duì)上述問(wèn)題，應(yīng)采取相應(yīng)措施予以消除，處理方法如下： 由于裝配不當(dāng)，端蓋板的平面與腔體的軸向不垂直。打開(kāi)端蓋后，可以看到半個(gè)圓弧被磨在端蓋上，這說(shuō)明旋片在經(jīng)過(guò)這部分時(shí)受擠壓嚴(yán)重，不能正常與旋片真空泵腔接觸。當(dāng)旋片被強(qiáng)力推動(dòng)通過(guò)該部分時(shí)，它突然跳出并與旋片真空泵腔碰撞，產(chǎn)生周期性的撞擊聲?！ 榱私鉀Q這一問(wèn)題，可以對(duì)腔體的端面進(jìn)行修正，使其垂直于腔體的軸向，可以磨掉端蓋板上的劃痕，然后可以調(diào)整旋片真空泵的腔體、轉(zhuǎn)子和轉(zhuǎn)子之間的配合間隙，并可以調(diào)整旋片彈簧的伸縮性能來(lái)消除這一故障。旋片真空泵制造過(guò)程中產(chǎn)生的固有噪聲是不可避免的。一些大師挖出一些釋氣的孔口，也就是說(shuō)，稍微擴(kuò)大孔，以減少噪音;一些大師將中間隔膜旋片真空泵的中間隔膜偏移幾毫米，以減少有害空間，從而降低噪音?！ 】傊?，只要發(fā)現(xiàn)故障，...
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08
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在安裝和啟動(dòng)螺桿真空泵之前，需要做一些準(zhǔn)備工作以確保安全運(yùn)行。這一次，螺桿真空泵將討論在螺桿真空泵啟動(dòng)之前準(zhǔn)備?！ ?dòng)螺桿真空泵前要做的第一件事是清理雜物。應(yīng)先清除真空泵內(nèi)的灰塵，再清除管道內(nèi)的灰塵和雜物，尤其是焊渣，以確保徹底清潔，防止進(jìn)入泵被堵塞和卡住。 檢查進(jìn)風(fēng)口和出風(fēng)口是否緊固，所有管道安裝是否正確，冷卻水管道是否正常。 確保齒輪箱潤(rùn)滑油處于標(biāo)準(zhǔn)油位。螺桿真空泵齒輪箱油量過(guò)少，容易導(dǎo)致齒輪和軸承潤(rùn)滑不充分和卡澀;過(guò)多的潤(rùn)滑油很容易導(dǎo)致溫度過(guò)高，導(dǎo)致齒輪噪音或影響其他部件。因此，有必要將油位長(zhǎng)時(shí)間保持在合理的范圍內(nèi)?！ ∽⒁饫鋮s水是否按要求配置。螺桿真空泵通過(guò)水冷套對(duì)泵體進(jìn)行冷卻，每種型號(hào)的冷卻水量不同。在實(shí)際啟動(dòng)前，必須根據(jù)相應(yīng)的型號(hào)要求和環(huán)境條件，確保冷卻水的量是否滿足配置要求?！ 『悴艡C(jī)電廠家主要真空泵產(chǎn)品有2BV、V、VG、VI、VZ、VN、LRP系列水環(huán)真空泵,X、GVD系列旋片真空泵,ZJ系列羅茨真空泵,GXS、DHS、VSD、GHS系列螺桿真空泵,DZS系列爪泵,中央真空系統(tǒng)等產(chǎn)品。公司代理有阿特拉斯.科普柯(atlas)，司倍克speck產(chǎn)品.真空泵廠家恒才機(jī)電憑借多年的生產(chǎn)制造經(jīng)驗(yàn)，一流的技術(shù)人員，完善的售后渠道使得產(chǎn)品質(zhì)量多年來(lái)保持穩(wěn)定可靠。恒才機(jī)電廠家期待與各位同仁合作，更多真空泵知識(shí)請(qǐng)繼續(xù)關(guān)注我們恒才機(jī)電設(shè)備有限公司。聯(lián)系電話400-862553...
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旋片真空泵的葉片廣泛應(yīng)用于旋片真空泵的轉(zhuǎn)子槽中。真空泵的轉(zhuǎn)子和葉片密封在真空泵的缸體中。使用真空泵油作為潤(rùn)滑介質(zhì)，可以增加真空泵葉片與缸體的接觸面積，從而達(dá)到理想狀態(tài)下的最終真空。如果真空泵的葉片太短太薄，將會(huì)導(dǎo)致真空度不夠，甚至?xí)?dǎo)致真空泵的嚴(yán)重故障?！ 「鶕?jù)旋片真空泵的工作原理，真空泵的葉片分為兩種類型：雙級(jí)泵(也稱雙極性旋片真空泵)葉片和單級(jí)旋片真空泵葉片。不同型號(hào)和品牌的真空泵葉片有不同的尺寸和材料，旋轉(zhuǎn)葉片真空泵一般用于腐蝕性條件?！ ≌婵毡萌~片材料抗彎強(qiáng)度高，在啟動(dòng)油擾動(dòng)和高入口壓力下運(yùn)行時(shí)不易變形和斷裂;密度比鐵小，所以離心力小，氣缸壁磨損小，不會(huì)直接與金屬咬合;能承受高溫;長(zhǎng)度方向的熱膨脹系數(shù)很小，相當(dāng)于鑄鐵，因此在設(shè)計(jì)中可以將該方向的公差視為鑄鐵。厚度方向熱膨脹系數(shù)大，硬度高，油潤(rùn)滑摩擦系數(shù)小，在油潤(rùn)滑充分的前提下耐磨耐用。當(dāng)轉(zhuǎn)子不在泵體內(nèi)運(yùn)行時(shí)，會(huì)發(fā)生摩擦，如果沒(méi)有真空泵油潤(rùn)滑，很容易導(dǎo)致真空泵葉片的磨損、斷裂和膨脹。結(jié)果，真空度不夠，真空不能上升?！ ≡?:泵油不足或真空油不干凈?！ ∨懦椒ǎ涸黾佑土炕蚋鼡Q油?！ ≡?:泵油品牌不匹配?！ ∨懦椒ǎ焊鼡Q指定品牌的真空泵油?！ ≡?:泵的進(jìn)油口堵塞或供油不足?！ ∨懦椒ǎ呵逑催M(jìn)油孔或調(diào)整油量。 原因4:泵速不夠?！ ∨懦椒ǎ簷z查電機(jī)電源電壓或電機(jī)本身是否有故障?！ ≡?:排氣閥板損壞?！ ∠?..
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08
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螺桿真空泵不僅可以抽空，還可以過(guò)濾氣體，對(duì)含粉塵的氣體可以過(guò)濾，過(guò)濾氣體需要濾芯，所以時(shí)間一長(zhǎng)就要更換濾芯。 除頻繁更換外，還要注意濾芯的質(zhì)量。 只有濾芯的質(zhì)量好，才能過(guò)濾氣體。 如何判斷螺桿真空泵濾芯的質(zhì)量? 一、看濾芯的芯骨厚度 通常，優(yōu)質(zhì)的螺桿真空泵濾芯的內(nèi)外骨架厚度均在0.8mm-1.5mm之間，但有些廠家為了降低層本，將骨架降低到0.3mm-0.5mm，雖然外觀沒(méi)有差異，但嚴(yán)重影響濾芯的抗壓能力?！ 《?、看濾芯的材質(zhì) 螺桿真空泵空氣過(guò)濾器的主要過(guò)濾材質(zhì)為濾紙，假裝過(guò)濾器所采用的劣質(zhì)濾紙，使得除塵進(jìn)入發(fā)動(dòng)機(jī)無(wú)法停止，影響發(fā)動(dòng)機(jī)的正常工作。 通常，優(yōu)良的真空泵濾芯的濾紙顏色是統(tǒng)一的，紙面比較平坦，不良的過(guò)濾器顏色是不統(tǒng)一的，紙面生毛，質(zhì)量差?！ ∪?、看濾芯的膠質(zhì) 目前螺桿真空泵過(guò)濾器的結(jié)構(gòu)通常由濾紙和橡膠組成。 正品濾芯的橡膠質(zhì)量好有彈性，不過(guò)，假濾芯的橡膠質(zhì)量柔軟壞。 比較容易識(shí)別方法是將空氣過(guò)濾器對(duì)折，放松后立即打開(kāi)優(yōu)質(zhì)過(guò)濾器，假冒真空泵過(guò)濾器因橡膠質(zhì)問(wèn)題不與濾紙粘接，中央對(duì)折的痕跡很明顯。 濾芯經(jīng)常更換，更換的話就更換。 螺桿真空泵的部件質(zhì)量可以根據(jù)上述內(nèi)容進(jìn)行判斷。 如果買的要素不滿足上述條件的話，請(qǐng)不要更換。 不良濾芯會(huì)影響真空泵對(duì)氣體的過(guò)濾。
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